Hören Sie auf, Energie an den Oberflächen der Siliziumwafer zu verschwenden
Wenn Sie Siliziumwafer erhitzen, bedeutet jede verschwendete Wattzahl im Grunde genommen Geldverlust für Sie. Die meisten Standardreflektoren sind nicht besonders effektiv – sie lassen zu viel Energie in das Gehäuse abfließen, anstatt sie auf die Wafer zu lenken.
Deshalb verwenden wir Gold. Es mag zwar luxuriös klingen, aber es ist tatsächlich eine praktische Lösung. Gold ist hervorragend darin, Infrarotenergie zurückzustrahlen. Anstatt dass die Lampe die Wärme aufnimmt, leitet Gold fast alle Energie wieder auf die Wafer zurück.
Warum Gold tatsächlich funktioniert
Aluminium hat Probleme, wenn die Wellenlänge des Infrarots zunimmt. Gold hingegen nicht. Durch das Hinzufügen einer präzisen Goldschicht verhindern wir, dass die Energie einfach verschwindet. Dadurch müssen Sie keine höhere Spannung verwenden, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Sie können die Lampen bei niedrigerer Leistung betreiben und trotzdem die gewünschte Temperatur erreichen.
Es handelt sich dabei um einen Gewinn für beide Seiten: Die Quarztuben stehen weniger unter thermischem Stress, und die Glühfäden halten länger.
Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie gebraucht wird
Wir reflektieren das Licht nicht nur, sondern bündeln es auch auf eine kleine Fläche. Dadurch entsteht eine Hochleistungs-Wärmezone. Das Ergebnis? Die Aufheizzeit verkürzt sich, und die Temperatur bleibt über die gesamte Waferfläche konstant.
Wenn Sie alte Reflektoren verwenden, die beschädigt oder oxidiert sind, geht diese Fokussierung verloren. Doch Gold oxidiert nicht – es bleibt sauber und sorgt dafür, dass die Wärme genau dorthin gelangt, wo sie gebraucht wird.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Da Goldbeschichtungen viel mehr Wärme auf die Wafer abgeben, sollten Sie auf Ihre Kühlsysteme achten. Da die Energie so stark konzentriert ist, kann bereits eine kleine Fehlstellung im Sensor oder in der Lampe dazu führen, dass es zu Hotspots kommt. Wenn Sie von Aluminium auf Gold wechseln, sollten Sie die PID-Controller neu kalibrieren, damit Sie nicht die gewünschte Temperatur überschreiten.
Wenn Sie alles richtig einstellen, werden Ihre Stromkosten sinken.