Auf der Herstellungsebene reicht bereits ein einziger Wassertropfen nach der Reinigung aus, um eine Wafer zu zerstören. Die Trocknungsphase nach der Reinigung ist keine Pause – sie ist vielmehr eine notwendige Voraussetzung für eine gute Qualität der Wafer. Wir haben unsere Trocknungslampen so konzipiert, dass sie genau die benötigte Temperatur erzeugen – direkt nach der Reinigung, an der entscheidenden Stelle des Prozesses.
Was technisch wichtig ist: Wir justieren das Trocknungsprofil mithilfe von Kurz- und Mittelwellen-Infrarotstrahlen in den Quarzlampen. Ziel ist eine schnelle, kontrollierte Erwärmung – ohne dass der Photoresist beschädigt wird. Die Temperaturgenauigkeit liegt bei ±0,1°C über die gesamte Fläche der Wafer. Dadurch bleiben die kritischen Abmessungen stabil. Das System arbeitet besonders sauber – es entstehen keine Partikel. Es eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100. Die Stabilität hält länger als 5.000 Stunden an – mit weniger als 5% Abweichung. Dadurch kann der Prozess 24/7 ohne Probleme durchgeführt werden.
Warum es in echten Produktionsanlagen funktioniert: Nach der Reinigung muss die Wafer ohne Restfeuchtigkeit und ohne neue Kontaminationen in die weitere Verarbeitung gebracht werden. Unsere Lampen entfernen die Feuchtigkeit schnell, während der Photoresist unbeschädigt bleibt. Dadurch werden kürzere Bearbeitungszeiten erreicht – ohne Einbußen bei der Qualität. Zudem wird weniger Energie pro Charge verbraucht und es müssen weniger Lampen ausgetauscht werden. Das thermische Gleichgewicht bleibt unter Kontrolle – dadurch können Fehler durch Trocknungsprobleme vermieden werden.
Praktische Details: Diese Lampen benötigen geeignete Halterungen sowie sauberes Stromnetz. Achten Sie darauf, dass Spannung und Anschlüsse mit der jeweiligen Plattform kompatibel sind. Es ist eine kurze Aufwärmzeit erforderlich, damit das Spektrum und die Temperatur stabil werden. Planen Sie die Integration frühzeitig – damit die Lampe exakt richtig positioniert wird. Bewahren Sie außerdem das Fenster der Lampe während der Wartung frei von Rückständen.