クリーンな環境を維持する：クラス100の加熱システムで直面する本当の課題 クラス100のクリーンルームで作業している人なら、温度管理は比較的簡単だということを知っているでしょう。しかし、本当の問題は粒子です。 ほとんどの標準的なIRランプは、このような環境では障害となります。それらはガスを放出し、...

製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストの焼成時に温度がわずかでも変動してしまうと、重要な寸法制御が崩れてしまいます。単に「熱」があればいいわけではありません。何よりも重要なのは、シフトを重ねてもプロセス範囲内で温度が安定し続けることです。 技術的に重要な点 私たちは、短波長のNIRを発する線形...