半導体ヒーター用熱電対

赤外線半導体ヒーターにおける適切な温度制御 もし、半導体製造工場での二酸化炭素排出を減らしたいのであれば、古くから使われてきた抵抗式ヒーターに頼るのはやめなければなりません。そのようなヒーターでは温度上昇が遅すぎます。そこで、赤外線ランプシステムを利用するようになりました。これらのシステムなら、目...