조광 가능한 반도체 히터 램프
팹의 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 곧 열 제어와 직결됩니다. 단 0.5도라는 미세한 온도 변동만으로도 CD의 균일성이 해칠 수 있으며, 온도 상승 속도가 너무 느리면 생산 효율도 떨어집니다. 우리는 바로 이러한 문제들을 해결하기 위해 조절 가능한 반도체...
데스크톱 전기 히터
책상 위의 차가운 공기는 불편할 뿐만 아니라, 손을 뻣뻣하게 만들고 집중력을 저하시킵니다. 대부분의 사람들은 히터를 사용하지만, 이 경우 공기가 너무 건조해집니다. 그로 인해 공기가 거칠고 불쾌해집니다.
대신 적외선 열을 이용하는 데스크탑 전기 히터를 사용하면 상황이...
산업용 팬 히터
조용한 독서 시간을 망치는 것은 바로 차가운 공기가 들어오는 것입니다. 집중력이 흐트러지고, 책도 제대로 읽을 수 없게 됩니다. 휴대용 적외선 히터는 이 문제를 해결해줍니다. 이 히터는 방 전체를 따뜻하게 하는 대신, 직접적인 열을 공급하여 편안함을 유지시켜 줍니다....
서늘한 방용 히터
선룸은 사람들이 살아가는 공간이어야 합니다. 하지만 처음으로 추위가 찾아오면 유리창은 차가운 거울처럼 변해버리고, 모두가 다시 실내로 들어가게 됩니다. 강제 환기 시스템은 방 전체를 따뜻하게 하려 하지만, 그 과정에서 바람과 소음이 발생합니다. 게다가 햇빛이 일부 역...
웨이퍼용 중파 적외선 히터
제조 현장에서는 베이킹 과정에서 열적 상태가 결정됩니다. 소프트 베이킹이든 하드 베이킹이든 2°C만큼의 온도 변화가 있으면 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 또한, 가열 과정 중에 입자가 발생한다면 그 제품은 버려질 수밖에 없습니다. 구식 가열 방식으로는 고도로...
벽걸이형 실내 히터
거울에는 수증기가 가득하고, 바닥은 미끄럽으며, 공기도 차갑습니다. 샤워를 마치고 나오면 편안함과 안전성이 크게 떨어집니다. 욕실에서는 일반적인 히터들이 너무 느리거나, 바람이 많이 불어서 적합하지 않습니다. 저희는 그러한 문제를 해결하기 위해 벽에 설치할 수 있는...
선형적인 적외선 가열 송신기
제조 공정에서는 알다시피, 사소한 온도 변화라도 결과에 큰 영향을 미칩니다. 단지 ‘열’만으로는 충분하지 않습니다. 공정이 진행되는 동안에도 온도가 일정하게 유지되어야 합니다.
기술적으로 중요한 점은 무엇인가? 우리는 단파장의 근적외선을 방출하는 선형 적외선 가열 장...
고품질 적외선 히터
현대적인 거실은 깔끔한 라인과 따뜻한 나무 소재, 절제된 색상으로 멋스러워 보입니다. 하지만 문제는, 날씨가 추워지면 이러한 미니멀리스트 스타일도 차가워질 수 있다는 것입니다. 외관을 해치는 크고 두꺼운 히터는 원치 않습니다. 방의 분위기에 어울리면서도 방해가 되지...
웨이퍼 레벨 패키징용 히터
라인에서는 열에 의한 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 중요한 치수가 변하거나, 포토레지스트의 두께가 얇아지거나, 많은 양의 웨이퍼가 폐기되고 재가공되는 형태로 나타납니다. 팬아웃 웨이퍼 레벨 패키징에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 만약 히터가 실제...
웨이퍼 경화 램프용 반사판
팹에서는 포토레지스트를 건조하는 과정 중 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C 정도의 온도 차이가 생기면, 선폭 제어가 되지 않아 수율이 떨어질 수 있습니다. 경화 램프에 사용되는 반사판은 단순한 부품이 아닙니다. 이 반사판은 공정이 매번 일관되게 진행될 수 있도록 열 분포...
다양한 종류의 IR 램프가 대량으로 준비되어 있습니다.
팹에서는 단 한 번의 온도 변동만으로도 많은 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 웨이퍼 건조나 포토레지스트 가열 과정에서 약간의 오차가 생기기만 해도 결함이 발생하고, 선의 굵기에도 변화가 생기며, 그로 인해 수율이 저하됩니다. 이러한 문제들은 몇 시간 후에야 나타나곤 합...
자동화 웨이퍼 건조 히터
Fab 층에서, 클린 린스 직후의 웨이퍼는 화려함이 아니라 안정적인 동작이 필요하다. 물 잔류물, 불균일한 가열, 미세 입자들이 중요한 치수를 미세하게 변형시키고, 포토레지스트 접착력을 손상시키며, 재작업을 초래할 수 있다. 자동화된 웨이퍼 건조 히터는 이러한 변수를...
반도체 램프의 글로벌 수출업체
웨이퍼 플로어에서 포토레지스트 공정 중 열 이동은 단순한 학술적 문제가 아니라 생산 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 소프트 베이크 시 2°C의 온도 변동은 전체 포토레지스트 프로파일을 기울게 하며, CD 변동과 스커밍 현상이 빠르게 나타납니다. 당사는 반도체 작업용...
다락방 온풍기
다락방은 골칫거리다. 한 순간에는 뼛속까지 시리게 하는 외풍과 싸우고, 다음 순간에는 불균일한 온기로 가득 찬 답답한 공간에 갇히게 된다. 일반적인 난방기를 사용하면 공기가 빠르게 건조해진다. 목재는 수축하고 피부는 당기며, 공간 전체가 올바르지 않은 느낌을 준다....
Mattson RTP 램프 교체
공정 기술 기사 펩 제조 현장에서 RTP 챔버는 단순한 히터가 아니라 공정 장비입니다. 램프 출력이 변동하면 웨이퍼 온도 균일성이 저하됩니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 프로파일이 목표에서 벗어나고, 중요한 치수 제어가 흐트러집니다. 결함 검토가 시작되기도 전에...