팹용 적외선 가열 모듈

팹 내에서의 포토레지스트 가열 과정은 단순히 편안함을 위한 것이 아니라, 반드시 준수해야 할 열적 조건과 관련이 있습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 생겨도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 우리는 이러한 열적 조건을 일관되...