Mengurangkan Pelepasan Karbon di Kilang Semikonduktor: Mengapa Kita Beralih kepada Sistem Pemanasan Inframerah
Jika anda pernah berada di bilik bersih, anda pasti tahu betapa pentingnya mengekalkan suhu yang stabil untuk komponen-komponen semikonduktor. Anda tidak boleh sekadar memindahkan wafer atau substrat tersebut secara sembarangan; ia perlu dipastikan berada pada suhu yang tetap. Jika tidak, ia akan menyebabkan keadaan yang tidak diingini seperti kondensasi atau kejutan haba, dan itu merupakan situasi yang sangat buruk.
Kini, terdapat usaha besar untuk mencapai matlamat “kilang hijau”. Cara lama untuk memanaskan udara di dalam bilik tersebut merupakan cara yang sangat membazir tenaga. Itulah sebabnya kita beralih kepada sistem pemanasan inframerah.
Bagaimana prinsip pemanasan inframerah berfungsi
Bayangkanlah begini: pemanas tradisional cuba memanaskan seluruh udara di dalam bilik agar produk dapat dipanaskan. Ia sama seperti cuba memanaskan rumah dengan menghidupkan ketuhar.
Sebaliknya, sistem inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan objek secara langsung. Kita menggunakan lampu inframerah gelombang pendek kerana ia bertindak dengan cepat. Anda tidak perlu menunggu beberapa minit untuk suhu menjadi sesuai; ia berlaku dalam beberapa saat sahaja. Dengan itu, penggunaan tenaga juga berkurangan.
Menjaga kebersihan dan saiz yang kompak
Di kilang semikonduktor, satu zarah kecil pun boleh merosakkan segalanya. Kita tidak boleh membiarkan pemanas mengeluarkan serpihan.
Untuk mengatasi masalah ini, kita membungkus lampu tersebut dalam bekas kuarza yang tertutup rapat. Dengan cara ini, tiada gas yang keluar, dan tiada kotoran yang terhasil. Satu perkara yang perlu diambil kira semasa merancang susunan lampu tersebut adalah saiznya. Kerana sistem inframerah yang berketumpatan tinggi sangat efisien, maka pemanas tersebut boleh dibuat lebih kecil. Ini membolehkan ruang yang lebih banyak untuk alat pengangkutan wafer, yang tentunya merupakan kelebihan.
Kelebihan dan kekurangan sistem inframerah
Sistem inframerah bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ia mempunyai beberapa kelemahan.
Oleh kerana cahaya inframerah bersifat berarah, ia agak “pilih-pilih”. Jika beban pada troli tersebut tidak sama rata, maka akan ada kawasan yang sejuk. Anda perlu meluangkan masa untuk menyesuaikan kedudukan lampu agar haba dapat mencapai setiap sudut wafer tersebut.
Selain itu, lampu inframerah sangat panas. Jika badan troli tidak dilindungi dengan baik, ia akan memanaskan udara di dalam bilik bersih. Jika ini berlaku, sistem HVAC perlu bekerja lebih keras untuk menyejukkan bilik tersebut semula. Dengan itu, semua penjimatan tenaga yang dicapai akan hilang.
Cara memasang dan menjaga sistem inframerah
Berita baiknya ialah sistem ini direka untuk menggantikan pemanas konvensional. Proses pemasangan mudah sahaja.
Namun, anda perlu menggunakan kawalan PID yang berkelajuan tinggi. Tanpa kawalan ini, suhu boleh menjadi terlalu tinggi, dan ini merupakan risiko yang tidak boleh diterima untuk wafer yang sensitif.
Selain itu, kuarza merupakan bahan yang rapuh. Sedikit hentakan saja sudah cukup untuk merosakkannya. Oleh itu, kita perlu melindungi lampu tersebut dengan penutup khas. Walaupun ini sedikit mengurangkan kecekapan sistem, namun ia berbaloi demi memastikan keselamatan lampu tersebut.