Di bilik pengeluaran wafer, sekadar adanya kesan air selepas proses pembersihan sudah cukup untuk merosakkan wafer tersebut. Langkah pengeringan selepas pembersihan bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat penting yang perlu dipenuhi. Kami mencipta lampu pengering khas untuk memastikan suhu yang tepat dicapai sejurus selepas proses pembersihan, agar dimensi wafer tetap stabil.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami menyesuaikan profil pengeringan menggunakan sinar inframerah berfrekuensi pendek dan sederhana dalam lampu jenis kuarsa. Tujuannya adalah untuk memastikan pemanasan yang cepat namun terkawal, tanpa merosakkan lapisan fotoresist. Ketepatan suhu dapat dicapai pada tahap ±0.1°C, dan keseragaman suhu juga dapat dikekalkan dengan baik, sehingga dimensi wafer tidak berubah. Sistem ini direka untuk beroperasi dalam lingkungan kebersihan kelas 1–100. Stabiliti sistem ini dapat dipertahankan selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan suhu kurang dari 5%. Dengan demikian, proses pengeringan dapat dilakukan 24/7 tanpa masalah.
Mengapa ia sesuai digunakan di kilang pengeluaran sebenar
Selepas proses pembersihan, wafer perlu dikeringkan sepenuhnya tanpa adanya kelembapan yang tinggal atau kontaminasi baru. Lampu kami dapat menghilangkan kelembapan tersebut dengan cepat, sambil memastikan lapisan fotoresist tetap utuh untuk langkah-langkah pengeringan seterusnya. Ini membolehkan masa proses menjadi lebih singkat, penggunaan tenaga berkurangan, dan keperluan untuk mengganti lampu juga berkurangan. Kontrol suhu juga dapat dipertahankan dengan baik, sehingga risiko kecacatan akibat proses pengeringan dapat dikurangkan.
Butiran praktikalnya
Lampu-lampu ini memerlukan peralatan yang sesuai serta bekalan elektrik yang berkualiti. Pastikan voltan dan sambungan lampu sesuai dengan sistem yang digunakan. Perlu ada masa penyesuaian sebentar agar spektrum dan suhu dapat mencapai nilai yang diinginkan. Lakukan perancangan awal agar lampu dapat diletakkan dengan tepat mengikut laluan wafer. Selain itu, pastikan tiada sisa-sisa kotoran pada permukaan lampu semasa penyelenggaraan.