Инфракрасный обогреватель средних волн для полупроводниковых пластин
На производственном участке именно на этапе запекания определяется тепловой бюджет процесса. Изменение температуры на 2°C во время процедуры мягкого...
Нагреватель для упаковки на уровне вафры с радиальным распределением тепла
На производственной линии тепловой дрейф не проявляется в виде сигнала тревоги. Он проявляется в изменении критических размеров, утончении слоя...
Отражатель для лампы для высушивания пластин
На производственной площадке небольшое увеличение температуры на уровне 0,5°C на поверхности кристалла во время процесса высушивания фотопленки может...
Автоматизированный обогреватель для сушки пластин
На производственном участке пластина, только что вышедшая из чистого ополаскивания, требует не эффектности, а стабильности. Остатки воды,...