บนพื้นที่ผลิต คุณจะเรียนรู้ได้เร็ว: การเลื่อนอุณหภูมิ 0.5°C ในการอบ photoresist อาจทำให้ความสม่ำเสมอของ CD ผิดเพี้ยน และเหตุการณ์ฝุ่นละอองเพียงหนึ่งครั้งอาจทำลายผลผลิตจำนวนมาก เราออกแบบตัวเรือนฮีตเตอร์สแตนเลสเพื่อให้ประสิทธิภาพทางความร้อนคงที่ภายในช่วงกระบวนการ—เปลี่ยนกะงานหลังจากกะงาน เปลี่ยนล็อตหลังจากล็อต
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
ตัวเรือนทำจากสแตนเลส 316L ซึ่งเลือกใช้เพราะทนต่อการกัดกร่อนและลดการปล่อยก๊าซในห้องสะอาด Class 1–100 องค์ประกอบอินฟราเรดคลื่นสั้นแบบบูรณาการช่วยให้อุณหภูมิถึงเร็ว โดยควบคุมอย่างแม่นยำเพื่อรักษาความสม่ำเสมอระดับแผ่นเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C บนพื้นผิว 150 mm และ 200 mm การทำซ้ำอุณหภูมิระหว่างรอบอบอยู่ที่ ±0.5°C ทำให้โปรไฟล์การอบแบบ soft bake และ hard bake คงที่
การออกแบบการไหลของอากาศลดความปั่นป่วนและกำจัดจุดที่ไม่มีการไหล ส่งผลให้เกิดฝุ่นละอองต่ำกว่า 0.01 อนุภาค/cm² ในการทำงานปกติ
เหตุผลที่ใช้ได้จริงในงาน litho
ตัวเรือนนี้ออกแบบมาสำหรับขั้นตอนความร้อนใกล้เคียงกับ lithography ซึ่งมีข้อจำกัดด้านงบประมาณความร้อน ตัวเรือนสามารถรักษาอุณหภูมิที่ตั้งไว้ได้แม้ขณะเปลี่ยนชุดงาน ลดเวลารอการอุ่นเครื่อง และรักษาอัตราผลผลิตให้คงที่โดยการควบคุมความหนืดของ photoresist และความเค้นของฟิล์มให้อยู่ในค่าที่เหมาะสม การใช้พลังงานมีความประหยัดโดยเน้นการให้ความร้อนเฉพาะจุดและลดการสูญเสียในโหมดสแตนด์บาย และตัวเรือนถูกออกแบบสำหรับการทำงานในโรงงาน 24/7 โดยลดการหยุดซ่อมบำรุง
สิ่งที่ต้องวางแผนล่วงหน้า
การติดตั้งจะเน้นการจับคู่กับอินเทอร์เฟซของเครื่องมือและตรวจสอบทิศทางการไหลของอากาศ หากติดตั้งผิดจะส่งผลต่อความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ ฮีตเตอร์จะทำงานตามสเปคได้ก็ต่อเมื่ออากาศที่เข้าจากห้องสะอาดมีอุณหภูมิและปริมาณฝุ่นตามข้อกำหนด
ควรวางแผนการสอบเทียบเซ็นเซอร์และตรวจสอบองค์ประกอบอย่างสม่ำเสมอ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอ ±0.1°C ให้คงที่ตลอดหลายพันรอบการทำงาน