บนพื้นโรงงาน โปรไฟล์การอบฟิล์มโฟโต้เรซิสไม่ใช่ข้อเสนอ—มันคือเส้นที่ต้องปฏิบัติตาม การเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาบนเวเฟอร์อาจทำให้ค่าขนาด (CD) เปลี่ยนแปลง...

บนพื้นที่ผลิต คุณจะเรียนรู้ได้เร็ว: การเลื่อนอุณหภูมิ 0.5°C ในการอบ photoresist อาจทำให้ความสม่ำเสมอของ CD ผิดเพี้ยน...