หยุดไม่ให้หลอดไฟที่เสียไปทำลายผลผลิตของคุณ ใครก็ตามที่เคยทำงานในโรงงานผลิตชิปคงรู้ดีว่ามันเป็นเรื่องน่ากังวลมากแค่ไหน เมื่อหลอดไฟหนึ่งเสีย...

บนพื้นโรงงาน โปรไฟล์การอบฟิล์มโฟโต้เรซิสไม่ใช่ข้อเสนอ—มันคือเส้นที่ต้องปฏิบัติตาม การเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาบนเวเฟอร์อาจทำให้ค่าขนาด (CD) เปลี่ยนแปลง...