บนพื้นโรงงาน
โปรไฟล์การอบฟิล์มโฟโต้เรซิสไม่ใช่ข้อเสนอ—มันคือเส้นที่ต้องปฏิบัติตาม การเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาบนเวเฟอร์อาจทำให้ค่าขนาด (CD) เปลี่ยนแปลง และทันใดนั้นคุณก็ต้องไล่ตามหาสาเหตุในขณะที่ตารางการผลิตยุ่งเหยิง เราได้สร้างอะไหล่เครื่องมือสำหรับโรงงานมืออาชีพเพื่อรักษาการควบคุมอุณหภูมิให้คงที่ตามที่กระบวนการต้องการ
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค โมดูลความร้อนของเรามีความสม่ำเสมอ ±0.1°C ในโซนที่ใช้งานและรักษาความเสถียรของจุดตั้งค่าแม้เมื่อแรงดันไฟฟ้าและภาระความร้อนมีการเปลี่ยนแปลง ความเข้ากันได้กับห้องสะอาดไม่ใช่สิ่งที่เพิ่มเข้าไป แต่ถูกออกแบบมาให้เข้ากัน วัสดุและการตกแต่งพื้นผิวถูกเลือกเพื่อลดการปล่อยก๊าซและการเกิดอนุภาค เพื่อให้สภาพแวดล้อมของคุณอยู่ในมาตรฐาน ISO Class 1–100 วงปิดควบคุมได้รับการปรับแต่งเพื่อให้ทำซ้ำได้ ดังนั้นรอบการอบแบบนุ่มและแบบแข็งจึงมีงบประมาณความร้อนเท่ากันตามล็อต
ทำไมมันถึงคงอยู่ในลิโธกราฟี ในลิโธกราฟีและการประมวลผลฟิล์มโฟโต้เรซิส ขั้นตอนการอบกำหนดภาพลักษณ์และการยึดติด ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่แน่นหนาช่วยลดความแปรปรวนของ CD ภายในเวเฟอร์และช่วยเพิ่มผลผลิต การทำงานที่สะอาดและปลอดอนุภาคหมายถึงจำนวนล็อตที่ถูกทิ้งและต้องทำซ้ำลดลง การออกแบบที่ประหยัดพลังงานและระยะเวลาการให้บริการที่ยาวนานช่วยให้อยู่ในต้นทุนการดำเนินงาน คุณจะได้ประสิทธิภาพที่เสถียรซึ่งทำให้สายการผลิตดำเนินต่อไปได้ตลอด 24 ชั่วโมง
รายละเอียดปฏิบัติ อะไหล่เหล่านี้พร้อมที่จะเสียบเข้ากับแพลตฟอร์มเครื่องมือมาตรฐาน แต่การรวมเข้าด้วยกันจะขึ้นอยู่กับรูปทรงของห้อง แรงลม และขอบเขตของสูตรที่มีอยู่ รันการตรวจสอบคุณภาพสั้น ๆ เพื่อยืนยันจุดตั้งค่าและอัตราการเพิ่มขึ้นสำหรับกระบวนการของคุณ การเปลี่ยนฮีตเตอร์หรือการแทนที่การควบคุมจะมีช่วงเวลาการปรับแต่งที่สั้น—บันทึกข้อมูล รักษาโปรไฟล์ให้แน่นหนา และสายการผลิตจะทำงานด้วยความแม่นยำที่คุณต้องการ