与真空环境兼容的红外加热器
为什么我们要在真空系统中从热空气加热器转向红外加热器?
如果你从事半导体深度加工工作,那么你一定了解其中的挑战:需要快速升温。长期以来,我们一直依赖强制空气循环来加热,但这种方法存在一个明显的问题——在真空中是无法输送热空气的,因为根本没有空气可以流动。
因此,我们转而使用适合在真空环境中使用的红...
真空室红外加热器
如何防止真空室发生爆炸 如果您使用真空室进行化学清洗工作,那么您肯定知道那有多可怕。因为真空室内有易燃易爆的溶剂,而加热过程又会产生热量。问题在于:普通的红外灯属于“开放式”结构,其加热元件直接暴露在空气中。在充满易挥发气体的环境中,哪怕是一点小的火花或过高的表面温度都可能引发火灾。这显然不是什么...