晶圆加工设备用温度传感器

为何我们用黄金来加热晶圆 在为半导体晶圆加热时，人们很容易认为增加功率就能解决问题。但实际上，关键并不在于功率大小，而在于有多少能量真正作用于晶圆表面。 问题在于：普通的石英灯存在热量泄漏的问题。大量热量会散失到侧面或后面，从而无法用于加热晶圆。 因此，我们在反射器上涂覆高纯度的黄金层。 黄金的独...