In der 300-mm-Linie führen diese durch das Spülen verursachten Temperaturschwankungen dazu, dass sich das Profil des Fotolacks vor dem nächsten Trocknungsprozess verändert. Wir haben daher eine wasserdichte Infrarotlampe entwickelt, um diese Schwankungen auszugleichen. Sie hält die Wafernoberfläche während der Spülvorgänge bei einer konstanten Temperatur – dadurch bleiben die kritischen Abmessungen im gewünschten Bereich.
Was technisch wichtig ist:
Die Lampe arbeitet im Kurzwellen-Infrarotbereich und kann effektiv mit Wasser sowie Silizium in Wechselwirkung treten, was eine schnelle, oberflächenbasierte Erwärmung ermöglicht. Die Quarzkapsel sowie der IP67-indizierte Gehäuseaufbau sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – es kommt zu keiner Ausgasung und keinem Anstieg der Partikelzahl. In der beleuchteten Zone bleibt die Homogenität auf der Wafernoberfläche bei ±0,1°C – auch zwischen verschiedenen Chargen bleibt die Genauigkeit konstant.
Die Steuerung erfolgt über eine geschlossene Rückkopplungsschleife am Lampenkörper. Dadurch bleibt die Leistung stabil, selbst wenn die Netzspannung schwankt.
Warum das in der Spülstation funktioniert:
In den Spülstationen wird oft Energie durch Temperaturschwankungen verschwendet. Mit dieser Lampe muss man nicht mehr durch zusätzliche Trocknungsprozesse kompensieren – außerdem wird die Zeit für das Trocknen verkürzt. Dadurch entstehen weniger Rückarbeitungen, weniger Ausschuss und eine stabile Kontrolle der Abmessungen durch die Lithografie.
Die Erwärmung erfolgt nach Bedarf und lokalisiert – somit wird keine Energie für die Erwärmung des gesamten Wassers verschwendet. Die Zuverlässigkeit der Lampe ist bewährt: Sie funktioniert mehr als 5.000 Stunden lang mit weniger als 5% Leistungsverlust – dadurch wird unplanmäßiger Stillstand reduziert und der Bedarf an Ersatzteilen verringert.
Was Sie im Voraus wissen sollten:
Die Lampe ist für eine vertikale oder horizontale Montage über der Spülzone konzipiert. Zudem benötigt sie eine spezielle Strom- und Steuerungsanbindung, die zur jeweiligen Spülanlage passt. Achten Sie darauf, genügend Abstand zur Wafernoberfläche zu gewährleisten, damit keine Schatten entstehen.
Es ist eine kurze Aufwärmzeit nötig, bis die gewünschte Temperatur erreicht ist – planen Sie diesen Zeitraum sorgfältig in den Prozessablauf ein, damit keine unnötige Wartezeit entsteht.