Mantener una sala limpia de clase 100 realmente limpia (mientras se calientan las obleas)
Cuando se trabaja en un entorno de clase 100, hay que luchar contra el polvo. Una sola partícula diminuta puede arruinar todo el lote de obleas.
La parte complicada es que, al calentar las obleas, el peligro no radica solo en la temperatura, sino también en la lámpara en sí. El vidrio estándar puede romperse o liberar gases tóxicos cuando se calienta, lo cual provoca la contaminación del material a procesar. Por eso utilizamos cuarzo sintético de alta pureza; sin elementos metálicos ni sorpresas desagradables.
La distancia ideal
No se puede colocar la lámpara infrarroja demasiado cerca de la oblea. De hacerlo, se crearán zonas calientes que distorsionarán la superficie del silicio. Peor aún, si la lámpara toca la oblea, habrá contaminación inmediata.
Encontrar la distancia adecuada requiere un equilibrio preciso. Si se acerca demasiado la lámpara, el calor será intenso, pero no uniforme. Si se aleja para lograr una temperatura uniforme en toda la oblea de 300 mm, podría ser tentador aumentar la potencia de la lámpara. Pero hay que tener cuidado: si se excede esa cantidad de potencia, se dañarán los extremos de la lámpara.
Por qué usamos cuarzo fusionado
Hemos eliminado todo lo que pudiera causar problemas: sin recubrimientos, sin adhesivos, nada que pueda desprenderse o generar humo cuando la lámpara se calienta.
Usamos un revestimiento de cuarzo fusionado porque puede soportar ciclos repetidos de calentamiento y enfriamiento sin romperse. También utilizamos electrodos especiales para evitar que el sello de la lámpara se dañe.
Lo mejor de todo es que el cuarzo es tan puro que la radiación infrarroja de onda corta puede pasar a través de él sin quedar atrapada en las paredes del tubo. Esto significa que más energía llega a la oblea, y la lámpara permanece más fría.
Los inconvenientes
El problema es que el cuarzo de alta pureza es frágil. Aunque le gusta el calor, odia que se le cause vibración. Si los soportes de la lámpara permiten que esta vibre contra un soporte metálico, se dañará la superficie de la lámpara. Una vez que esto ocurra, la lámpara está destinada a fallar rápidamente.
Asegúrese de que los soportes estén bien ajustados. Y no olvide su sistema de refrigeración: debe ser lo suficientemente eficaz para manejar todo ese calor que proviene de la oblea.