En la línea de 300 mm, esos cambios térmicos causados por el enjuague hacerán que el perfil del fotorresist cambie antes del siguiente proceso de curado. Para evitar esto, hemos creado una lámpara infrarroja a prueba de agua que mantiene la temperatura de la superficie de la oblea constante durante los ciclos de enjuague con agua distilada. De este modo, las dimensiones críticas de la oblea se mantienen dentro de los parámetros establecidos.
Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico La lámpara funciona en la banda de infrarrojo de onda corta, lo que permite una transmisión eficiente de calor hacia el agua y el silicio, logrando así un calentamiento rápido y localizado. La carcasa de cuarzo y la carcasa sellada con clasificación IP67 están diseñadas para salas limpias de clase 1–100: no hay emisión de gases ni aumento en la cantidad de partículas. En toda la zona iluminada, la uniformidad de temperatura a nivel de la oblea se mantiene en ±0.1°C, y la repetibilidad entre lotes también es alta.
El control es directo, gracias al sistema de retroalimentación en bucle cerrado del propio cuerpo de la lámpara. Esto significa que la salida de calor permanece estable, incluso cuando la tensión de la línea eléctrica varía.
Por qué funciona bien en las estaciones de enjuague Las estaciones de enjuague son lugares donde el presupuesto térmico se ve afectado negativamente. Con esta lámpara, ya no es necesario compensar los cambios de temperatura durante el enjuague, lo que permite reducir el tiempo de curado. Se obtiene menor cantidad de productos defectuosos y un control más preciso de las dimensiones de la oblea durante el proceso de litografía.
El calentamiento es localizado y se activa solo cuando es necesario, por lo que no se desperdicia energía calentando grandes cantidades de agua. La fiabilidad de esta lámpara está comprobada: las unidades pueden funcionar más de 5,000 horas con una disminución en su rendimiento inferior al 5%, lo que reduce el tiempo de inactividad no planificado y reduce las existencias de repuesto.
Lo que necesita saber de antemano La lámpara está diseñada para instalarse en posición vertical u horizontal sobre la zona de enjuague. Necesita una interfaz de alimentación y control específica, adaptada a las condiciones de la estación de enjuague. También es importante mantener cierta distancia entre la lámpara y el camino seguido por la oblea, para evitar sombras.
Es necesario un breve tiempo de calentamiento para alcanzar la temperatura deseada. Planifique bien este proceso para evitar tiempos de inactividad innecesarios.