Comment maintenir votre salle propres de classe 100 vraiment propre (même lors du chauffage des puces)
Lorsque vous travaillez dans un environnement de classe 100, vous luttez contre la poussière. Un seul petit fragment de poussière peut tout gâcher.
Le problème, c’est que lorsque l’on chauffe les puces, le danger ne vient pas seulement de la température. C’est aussi la lampe elle-même qui pose problème : le verre ordinaire peut se briser ou libérer des impuretés lorsqu’il est chauffé, ce qui endommagerait vos pièces en cours de fabrication. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté. Aucun métal, aucune surprise possible.
La distance idéale
On ne peut pas mettre la lampe infrarouge directement en contact avec la puce. Sinon, on risque de créer des zones très chaudes qui déforment le silicium. Pire encore, si les deux se touchent, c’est la fin : contamination immédiate.
Il faut trouver le bon équilibre entre la distance entre la lampe et la puce. Si on rapproche trop la lampe, la chaleur devient intense, mais elle n’est pas uniforme. Si on la met à distance pour obtenir une température uniforme sur toute la puce de 300 mm, on pourrait être tenté d’augmenter la puissance de la lampe. Faites attention : une puissance trop élevée endommagera rapidement la lampe.
Pourquoi nous utilisons du quartz fusionné
Nous avons retiré tout ce qui pouvait causer des problèmes : pas de revêtements, pas de colle, rien qui puisse se détacher ou produire de la fumée lorsque la lampe est chauffée. Nous utilisons donc du quartz fusionné, car il peut supporter des cycles répétés de chauffage et de refroidissement sans se briser. Nous utilisons également des électrodes spécialisées pour éviter que le joint ne se détériore.
Le meilleur aspect ? Le quartz est tellement pur que les rayons infrarouges courts passent directement à travers lui. Ils ne restent pas bloqués dans les parois du tube. Ainsi, plus d’énergie atteint la puce, et la lampe reste plus froide.
Les inconvénients
Le problème, c’est que le quartz de haute pureté est fragile. Il aime bien la chaleur, mais il déteste être secoué. Si les supports de fixation de la lampe permettent à celle-ci de vibrer contre un support métallique, cela endommagera la surface de la lampe. Une fois cela arrivé, la lampe est condamnée.
Assurez-vous que vos supports soient bien ajustés. N’oubliez pas non plus votre système de refroidissement : il doit être suffisamment puissant pour gérer toute cette chaleur émise par la lampe.