クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法（ウェハーを加熱している間も）
クラス100の環境で作業を行うときは、ほこりと戦っているようなものです。わずかなほこりの粒子があっただけで、作業したウェハー全体が台無しになってしまいます。 問題は、ウェハーを加熱するとき、危険なのは温度だけではないということです。実際には、ランプ自体が問題です。通常のガラスは高温になると壊れたり、有害なガスを放出したりしてしまい、それによってウェハーに汚染物質が付着してしまいます。そのため、私たちは高純度の合成石英を使用します。金属成分は一切含まれておらず、何の問題もありません。
「ゴールディロックス」距離
赤外線ランプをウェハーのすぐそばに置くわけにはいきません。そうすると、シリコンが変形するほどの高温部分ができてしまいます。さらに悪いことに、もしランプがウェハーに触れてしまったら、即座に汚染が起こります。 適切な距離を見つけるのは少し難しいです。ランプを近づけすぎると、熱が集中してしまいます。一方で、300mmサイズのウェハー全体に均一な温度を得るためにランプを離すと、出力を上げたくなります。しかし、出力を過度に上げると、ランプが壊れてしまいます。
なぜ融合石英を使うのか
私たちは、コーティングや接着剤など、高温になると剥がれたり煙を出したりするものは一切使いません。 融合石英を使う理由は、繰り返し加熱・冷却されても割れないからです。また、専用の電極を使うことで、密封部分が劣化するのを防ぎます。 最良な点は、石英が非常に純粋であるため、短波長の赤外線がそのまま通過してしまうことです。管壁に引っかかることがないので、より多くのエネルギーがウェハーに届き、ランプ自体も冷たく保たれます。
代償（注意点）
ただし、高純度の石英はもろいという欠点があります。 熱は好きですが、振動は嫌います。もし固定ブラケットがランプを金属製のホルダーに当てて振動させてしまうと、表面に傷がついてしまいます。一度そうなると、ランプはすぐに壊れてしまいます。 必ずブラケットを正しく調整してください。また、冷却システムも忘れてはいけません。ウェハーから戻ってくる大量の熱に対応できる十分な性能が必要です。