반도체 제조 장비의 열이 밖으로 새어나가는 것을 막으세요.
혹시 장비의 표면을 만졌다가 너무 뜨거워서 깜짝 놀란 적이 있나요? 그게 바로 “고온 문제”입니다. 이는 일반적인 대류식 가열 방식을 사용할 때 발생하는 현상입니다. 즉, 공기를 가열하거나 열을 주변으로 방출하는 센서를 사용하는 것입니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 기계 옆에 서 있는 사람들에게 위험할 수도 있습니다.
해결책은 사실 매우 간단합니다. 공기를 가열하는 것을 멈추고, 방향성이 있는 적외선 가열을 사용하는 것입니다.
작동 원리
적외선 램프는 마치 손전등과 같지만, 열을 내는 방식입니다. 뜨거운 공기로 전체 공간을 채우는 대신, 적외선은 전자기파를 직선으로 보냅니다. 이 에너지는 실제로 부품에 닿을 때까지는 아무런 작용도 하지 않습니다.
우리는 단파 적외선을 사용합니다. 왜냐하면 이 방식은 에너지를 부품 안쪽으로 직접 전달하기 때문입니다. 가장 좋은 점은, 목표 온도가 200°C일 때도 기계의 외부는 시원하게 유지된다는 것입니다. 더 이상 장비를 확인하기 위해 가까이 다가갈 때 화상을 입을 걱정을 할 필요가 없습니다.
적절한 하드웨어 선택
그냥 램프를 그 안에 넣고 결과를 기대해서는 안 됩니다. 초점을 정확히 맞춰야 합니다.
우리는 석영 커버 안에 할로겐 필라멘트를 사용하여 작은 공간 안에 많은 에너지를 전달합니다. 그런 다음 반사판의 각도를 조절하여 빛이 제대로 방향을 유지하도록 합니다. 그렇지 않으면 열이 여기저기 퍼져서 기계의 본체에 전달되어 다시 처음 상태로 돌아가게 됩니다.
전자 부품에 대해서 한 가지 주의할 점이 있습니다. 정밀한 PID 컨트롤러가 필요합니다. 적외선 램프는 즉각적으로 반응하기 때문입니다. 전력 공급이 적절하지 않으면, 목표 온도에 도달하기도 전에 과열될 수 있습니다.
단점들
방향성 가열은 효율적이지만, “그림자 효과”가 생깁니다. 열이 직선으로 움직이기 때문에, 그 경로를 막는 부분은 차가워집니다. 부품의 모양이 복잡하다면, 차가운 부분이 생길 수 있습니다. 모든 부분을 잘 가열하기 위해서는 가열 구역을 신중하게 계획해야 합니다.
또한, 빠른 가열을 위해 와트수를 높인다면, 램프의 뒷부분도 고려해야 합니다. 램프의 뒷부분도 뜨거워집니다. 만약 냉각 팬이 제대로 작동하지 않으면, 소켓이 손상될 수 있습니다.