웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

왜 웨이퍼를 가열할 때 금을 사용하는가? 반도체 웨이퍼를 가열할 때, 더 많은 에너지를 사용하면 된다고 생각하기 쉽습니다. 하지만 실제로 중요한 것은 그 에너지 중 얼마나 많은 양이 웨이퍼에 도달하는가 하는 점입니다. 문제는 표준 석영 램프는 열이 쉽게 새어 나간다는...