클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하기 위한 방법 (웨이퍼를 가열할 때도 마찬가지입니다)
클래스 100 환경에서 작업할 때는 먼지와 싸우는 것과 같습니다. 아주 작은 먼지 입자 하나만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
문제는 웨이퍼를 가열할 때 발생합니다. 위험 요소는 단순히 온도뿐만이 아닙니다. 램프 자체도 문제가 됩니다. 일반적인 유리는 열을 받으면 파괴되거나 불순물을 방출하여 작업면에 오염을 유발합니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 금속성 불순물이 전혀 없으니 안전합니다.
“골디락스” 거리
적외선 램프를 웨이퍼 바로 옆에 두어서는 안 됩니다. 그렇게 하면 실리콘이 변형될 수 있습니다. 더욱 심각한 것은 램프가 웨이퍼와 직접 접촉할 경우 즉시 오염이 발생한다는 것입니다. 적절한 거리를 찾는 것은 꽤 어려운 일입니다.
램프를 가까이 두면 열이 너무 강해지지만, 고르지 않습니다. 반대로 300mm 웨이퍼 전체에 고르게 온도를 분배하기 위해 램프를 멀리 떨어뜨리면, 와트수를 높이고 싶은 유혹이 생길 수 있습니다. 하지만 주의해야 합니다. 와트수를 너무 높이면 램프가 손상될 수 있습니다.
왜 우리는 융합 석영을 사용하는가?
우리는 모든 것을 제거했습니다. 코팅도, 접착제도, 열을 받으면 부서질 수 있는 재료도 전혀 없습니다.
융합 석영을 사용하는 이유는 반복적인 가열과 냉각에도 깨지지 않기 때문입니다. 또한 특수한 전극을 사용하여 밀봉 상태가 깨지는 것을 방지합니다.
가장 좋은 점은 석영의 순도가 매우 높아 단파 적외선이 그대로 통과한다는 것입니다. 석영 내부에 갇히지 않습니다. 이로 인해 웨이퍼에 더 많은 에너지가 전달되고, 램프 자체도 더 시원하게 유지됩니다.
단점들
하지만 고순도 석영은 깨지기 쉽습니다. 열을 좋아하지만, 진동은 견디지 못합니다. 만약 램프를 고정하는 부품들이 금속 홀더에 부딪히면 표면에 스크래치가 생깁니다. 그러면 램프는 곧 고장 날 것입니다.
따라서 램프를 고정하는 부품들을 잘 조절해야 합니다. 또한 냉각 시스템도 중요합니다. 웨이퍼에서 반사된 열을 처리할 수 있을 만큼 강력해야 합니다.