단 한 개의 고장 난 램프 때문에 전체 바이오 센서 제품군이 망가지는 일은 막아야 합니다. 솔직히 말해서, 작업 중에 램프가 파손되는 것만큼 최악인 상황은 없습니다. 이는 단순한 가동 중단 문제가 아니라 심각한 재앙입니다. 램프가 파손되면 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어져 모든 것을 망쳐버립니다.
고부하 가열 과정에서는 그 석영관에 엄청난 압력이 가해집니다. 그래서 우리는 IR 램프를 설계할 때, 기판을 보호하기 위한 안전장치로 활용했습니다.
혼란을 방지하기 위해
우리는 단일 층의 보호 장치에 의존하지 않습니다. 가열 요소는 고순도 석영관 안에 들어 있지만, 매우 중요한 바이오 센서 생산 과정에서는 추가적인 내충격성 커버도 사용합니다. 이는 마치 물리적인 보호막과 같습니다. 만약 내부 램프가 열로 인해 파손된다 해도, 그 파편들은 그 자리에 머물러 있습니다. 웨이퍼에 석영 가루가 묻지 않으며, 제품도 망가지지 않습니다. 단지 교체가 필요한 램프만 있을 뿐입니다.
열을 관리하기 위해
안정성을 유지하기 위해 우리는 할로겐 순환 시스템을 사용합니다. 이를 통해 필라멘트의 두께를 일정하게 유지함으로써, 램프가 파손되는 것을 방지합니다. 또한 석영벽의 두께도 일반 램프보다 더 두껍습니다. 이렇게 하면 급격한 전력 변화에도 견딜 수 있습니다.
하지만 한 가지 조언을 드리자면, 전압을 너무 빠르게 올리지 마세요. 아무리 튼튼한 램프라도 과도한 스트레스를 받으면 문제가 생길 수 있습니다. 따라서 PID 컨트롤러를 함께 사용하여 열 변화를 안정적으로 유지하는 것이 좋습니다.
클린룸에서 중요한 세부 사항들
우리는 산화를 방지하기 위해 금 도금된 연결부나 고품질의 니켈 연결부를 사용합니다. 연결 부위가 제대로 되지 않으면 국부적으로 열이 발생합니다. 그 열로 인해 밀봉이 파괴되어 누출이 발생할 수 있습니다. 우리의 설계는 이러한 문제를 방지해줍니다.
만약 24시간 내내 장비를 가동한다면, 냉각 공기 흐름을 반드시 확인해야 합니다. 램프에서 발생하는 열이 매우 크기 때문에, 열을 효과적으로 배출할 수 있는 강력한 냉각 시스템이 필요합니다. 그렇지 않으면 밀봉 부위가 훨씬 빨리 손상될 것입니다.