헹굼용 방수 적외선 램프

300mm 생산 라인에서는, 세척 과정에서 발생하는 열 변동으로 인해 다음 굽기 과정이 시작되기 전에 포토레지스트의 특성이 변할 수 있습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 저희는 방수 기능을 갖춘 적외선 세척 램프를 개발했습니다. 이 램프는 DI 물로 세척하는 동안...