Mattson RTP 램프 교체

공정 기술 기사 펩 제조 현장에서 RTP 챔버는 단순한 히터가 아니라 공정 장비입니다. 램프 출력이 변동하면 웨이퍼 온도 균일성이 저하됩니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 프로파일이 목표에서 벗어나고, 중요한 치수 제어가 흐트러집니다. 결함 검토가 시작되기도 전에...