자동화 웨이퍼 건조 히터

Fab 층에서, 클린 린스 직후의 웨이퍼는 화려함이 아니라 안정적인 동작이 필요하다. 물 잔류물, 불균일한 가열, 미세 입자들이 중요한 치수를 미세하게 변형시키고, 포토레지스트 접착력을 손상시키며, 재작업을 초래할 수 있다. 자동화된 웨이퍼 건조 히터는 이러한 변수를...