반도체 청정실용 트롤리 히터
공장 내 이산화탄소 배출을 줄이기 위해 왜 적외선 가열 방식을 사용하는가?
클린룸에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있듯이, 웨이퍼나 기판을 그냥 이동시킬 수는 없습니다. 반드시 일정한 온도를 유지해야 합니다. 그렇지 않으면 응결이나 열충격이 발생할 수 있으며, 이는 아...
클린룸용 적외선 히터
왜 스마트 팩토리에 IR를 도입하는가?
인더스트리 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축하려면, 가장 먼저 해야 할 일은 구식의 대류식 히터를 버리는 것입니다. 그런 히터들은 더 이상 효과적이지 않습니다. 우리는 열 에너지를 전달하기 위해 적외선(IR) 시스템을 사용합니...
클린룸 장비 업그레이드 공장
하나의 고장 난 램프로 인해 생산이 중단되는 것을 막으세요.
팹에서 일해본 사람이라면 그 끔찍한 상황을 잘 알 것입니다. 램프가 고장 나면 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 웨이퍼 위에 석영 조각과 금속 산화물들이 흩어지게 됩니다. 정말 엉망진창인 상황입니다....
클린룸 벤치 적외선 램프
고온 환경에서도 문제 없이 작동하는 램프
상상해보세요. 여러분은 엄청난 압박 속에서 생산 작업을 진행 중입니다. 시간이 점점 줄어들고, 생산 라인도 계속 움직입니다. 이런 상황에서 가장 부담스러운 것은 바로 난방 램프가 고장 나는 것입니다.
클린룸에서 램프가 고장 나...
클린룸 오븐 적외선 히터
반도체 제조 공장에서는 0.2°C만큼의 온도 변화라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 따라서 기존의 오븐들은 열 저항과 공기 중의 미세 입자들과 싸워야 합니다. 그 결과 폐기된 제품들로 인해 생산량이 줄어들고 일정도 지연됩니다.
핵심은 무엇인가? 저희는 단파 석...