IR 램프용 알루미늄 반사판
무연 접착제를 올바르게 사용하는 방법 (에너지 낭비 없이)
반도체 산업은 무연화와 친환경 에너지 활용을 위해 노력하고 있습니다. 이는 바람직한 움직임이지만, 접착제를 경화시키는 방식에 변화를 가져옵니다. 여기서 적외선이 중요한 역할을 합니다. 적외선은 유해한 화학 용...
웨이퍼 경화 램프용 반사판
팹에서는 포토레지스트를 건조하는 과정 중 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C 정도의 온도 차이가 생기면, 선폭 제어가 되지 않아 수율이 떨어질 수 있습니다. 경화 램프에 사용되는 반사판은 단순한 부품이 아닙니다. 이 반사판은 공정이 매번 일관되게 진행될 수 있도록 열 분포...