에너지 효율적인 웨이퍼 히터

반도체 공장에서의 탄소 배출 감소: 웨이퍼를 더 효율적으로 가열하는 방법 만약 반도체 공장에서 실제로 탄소 중립을 달성하고자 한다면, 웨이퍼를 가열하고 경화시키는 데 낭비되는 에너지를 줄여야 합니다. 대부분의 일반적인 저항식 히터들은 열을 여기저기로 새어나가게 하여,...