다양한 종류의 IR 램프가 대량으로 준비되어 있습니다.

팹에서는 단 한 번의 온도 변동만으로도 많은 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 웨이퍼 건조나 포토레지스트 가열 과정에서 약간의 오차가 생기기만 해도 결함이 발생하고, 선의 굵기에도 변화가 생기며, 그로 인해 수율이 저하됩니다. 이러한 문제들은 몇 시간 후에야 나타나곤 합...