fab 라인에서 포토레지스트 베이크 프로파일은 권고사항이 아니라 기준이다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 0.5도만 편차가 나도 CD가 변동하며, 그 순간부터 문제 원인을 추적하느라 라인이 멈추고 스케줄러가 꼬인다. 우리는 프로세스가 요구하는 열 제어를 유지하기 위해 전문...

반도체 제조 현장에서는 빠르게 배웁니다. 포토레지스트 베이크 시 0.5°C의 온도 편차가 CD 균일성을 크게 저해할 수 있으며, 한 번의 입자 발생이 많은 손실로 이어질 수 있습니다. 당사는 스테인리스 스틸 히터 하우징을 설계하여 열 성능이 공정 허용 범위 내에 유지...