조광 가능한 반도체 히터 램프

팹의 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 곧 열 제어와 직결됩니다. 단 0.5도라는 미세한 온도 변동만으로도 CD의 균일성이 해칠 수 있으며, 온도 상승 속도가 너무 느리면 생산 효율도 떨어집니다. 우리는 바로 이러한 문제들을 해결하기 위해 조절 가능한 반도체...