Op de productielijn gaat het bij het verhitten van de fotorezist niet om comfort – het gaat om een bepaald thermisch budget dat men zich niet kan veroorloven te overschrijden. Een afwijking van 0,5°C tijdens het verhiten heeft gevolgen voor de nauwkeurigheid van de afmetingen en kan leiden tot mindere productkwaliteit. We hebben onze infraroodverwarmingsmodules zo ontworpen dat dit thermische budget op elk moment wordt nageleefd.
We gebruiken kortegolf-Infraroodemitters die worden gebruikt via een afgesloten optische route die voornamelijk bestaat uit kwarts. Hierdoor wordt er snel energie overgedragen, met minimale thermische inertie. In de actieve zone blijft de uniformiteit van de wafer op ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid tussen verschillende batches binnen ±0,5°C ligt. De instellingen van het systeem kunnen zeer snel worden aangepast, zodat het proces ook onderweg nog herhaalbaar blijft. De module is geschikt voor gebruik in schone ruimtes (klasse 1–100). Dankzij het ontwerp met weinig deeltjes, blijft het aantal deeltjes tijdens het verhiten laag.
Dit is belangrijk in de lithografie: het verhitten van de fotorezist bepaalt namelijk het profiel van de fotorezist. Het stabiliseren van de temperatuur op het oppervlak van de wafer verminderd de gevoeligheid voor reflecties en verbetert de uniformiteit van de afmetingen. Dezezelfde principes gelden ook voor het reinigen en drogen van de wafer: door geforceerde warmteontwikkeling worden effecten van oppervlaktespanning verminderd, waardoor het patroon beter behouden blijft. Er wordt minder energie verbruikt, omdat de emitters alleen het gewenste gebied verwarmen, en niet de hele kamer.
Betrouwbaarheid hangt af van de beschikbaarheid van het systeem. Het systeem werkt 24/7, met regelmatige onderhoudsintervallen, zodat er geen onverwachte stilstanden optreden.
Wat je moet controleren bij integratie
De emissiviteit varieert per film en metaallaag. Daarom moet de temperatuurregeling worden aangepast aan de specifieke constructie van de wafer, en niet alleen aan de apparatuur zelf. De module is compact, maar er moet toch rekening worden gehouden met thermische afstanden en bescherming – anders kan er parasitaire verwarming optreden in de aangrenzende onderdelen.
Plan een korte testperiode in om de instellingen vast te stellen. Eenmaal ingesteld, blijft het proces herhaalbaar, voorspelbaar en stil.