Op de productielijn worden de stappen die nodig zijn voor het bakken van de wafers bepaald. Hier wordt ook bepaald hoe groot het thermische budget is dat beschikbaar is. Een verschil van 2°C tijdens het zachte of harde bakproces kan leiden tot veranderingen in de belangrijkste afmetingen van de wafers. Als er partikeltjes verschenen tijdens dit proces, is het proces niet meer te redden. Traditionele verwarmingssystemen kunnen de hoge eisen die worden gesteld aan de nauwkeurigheid van de temperatuur niet waarmaken, zonder dat je moet kiezen tussen snelheid en controle.
Wat echt belangrijk is Middengolf-infraroodverwarmers leveren energie rechtstreeks op de wafer, waarbij het spectrum is aangepast aan de absorptie van silicium. Hierdoor wordt er snel een thermische reactie veroorzaakt en kan de temperatuur nauwkeurig worden geregeld. We houden de uniformiteit van de temperatuur op de wafer binnen ±0,1°C, en de instellingen blijven consistent binnen een marge van 0,2°C per cyclus.
Het systeem is geschikt voor gebruik in schone ruimtes (klasse 1–100). Er worden materialen gebruikt die weinig gas uitstoten, en het ontwerp zorgt er ook voor dat er geen partikeltjes in het proces terechtkomen. Tijdens het bakproces blijft het aantal partikeltjes onder de 0,3 per cm². Het systeem werkt 24/7 zonder stilstand, en de thermische profilering blijft stabiel over duizenden cycli.
Waarom dit past bij onze werkwijze Binnen lithografiecentraalen verminderen deze verwarmers de tijd die nodig is om de wafers te bakken, zonder dat de kwaliteit van het proces wordt aangetast. De productiecapaciteit neemt toe, en de parameters van de fotoresistent blijven binnen de gewenste grenzen. De energieverbruik neemt af vergeleken met bronnen met een breder spectrum, omdat de energie is aangepast aan het proces, in plaats van te worden verspild aan ongewenste warmteontwikkeling.
Dankzij deze precisie verbetert ook de uniformiteit van de afmetingen van de wafers. In het verpakkingsproces zorgt deze precisie ervoor dat de lijm en coatings stabiel blijven, waardoor er minder herwerkingswerk en afval is.
Wat je van tevoren moet regelen Voor de installatie moet je ervoor zorgen dat de verwarmer goed past op de chuck en dat het infraroodlicht goed wordt geleid, zodat er geen schaduwen ontstaan. Zorg ook voor stroom- en bedieningsconnecties die geschikt zijn voor gebruik in schone ruimtes. Controleer ook of het thermische budget van de kamermuren voldoende is.
Middengolfverwarming werkt goed voor wafers, maar is minder effectief voor zeer reflecterende ondergronden. In zulke gevallen kan het nodig zijn om een aangepaste verdeler te gebruiken of om de instellingen iets aan te passen. Valideer eerst het proces met behulp van een thermisch profiel van de wafer, voordat je het proces in productie zet.