Middengolf infraroodverwarmer voor wafer
Op de productielijn worden de stappen die nodig zijn voor het bakken van de wafers bepaald. Hier wordt ook bepaald hoe groot het thermische budget is...
Reflector voor wafer ovendlamp
Op de productielijn kan een temperatuurverschil van 0,5°C op het wafer tijdens het verhitten van de fotoresist er toe leiden dat de controle over de...