Перестаньте ждать, пока нагреются оборудования для обработки полупроводников: почему использование инфракрасных ламп без озона — более разумный выбор
Если вы до сих пор используете системы циркуляции горячего воздуха для обработки полупроводников, скорее всего, вы тратите слишком много времени на ожидание — ожидание того, пока камера нагреется, ожидание того, пока тепло распространится по поверхности материала. Это серьезное препятствие, которое снижает вашу эффективность.
Переход на использование инфракрасных ламп без озона — это не просто небольшая корректировка. Это полная смена подхода к управлению временем.
Проблема с использованием воздушной циркуляции заключается в том, что процесс нагрева является косвенным: сначала необходимо нагреть воздух, а затем уже этот воздух нагревает поверхность материала. Это медленный процесс. Инфракрасные лампы работают иначе: они используют электромагнитное излучение, которое напрямую воздействует на поверхность материала. Достаточно лишь включить лампу, и тепловой эффект наступает почти мгновенно.
А еще есть один важный плюс: эти лампы не содержат озона. Они работают на таких длинах волн, при которых O2 не превращается в O3. Это значит, что вам не нужно беспокоиться о том, что озон может повредить чувствительные химические слои или вызвать коррозию оборудования.
Кроме того, использование инфракрасных ламп позволяет сократить площадь, необходимую для обработки. С их помощью можно нагревать только ту область, которая действительно требует нагрева. Это устраняет проблему задержки нагрева и позволяет быстро достичь нужной температуры.
Больше единиц в час. Меньше потраченного пространства. Все очень просто.
Но это не волшебство — есть несколько моментов, на которые стоит обратить внимание. Высокая плотность излучения оказывает большое давление на отражатели. Если они не имеют идеально гладкой поверхности, эффективность работы устройства снижается. Кроме того, из-за быстрого нагрева поверхности возможно превышение заданной температуры, если контроллеры PID настроены неправильно. Необходимы датчики с быстрой реакцией, чтобы не повредить материал.
Мы создали эти лампы как замену старым конвективным нагревателям. Теперь вы можете получить высокую скорость нагрева без проблем, связанных с загрязнением. Если вы хотите увеличить производительность, это идеальное решение.