На производственном участке один лишний след воды после очистки уже может разрушить пластину. Этап сушки после очистки – это не просто временная пауза в процессе; это важный этап, требующий строгого соблюдения определенных параметров. Мы разработали специальные лампы для сушки пластин, которые обеспечивают нужный уровень термоконтроля сразу после процедуры очистки, именно там, где это критически важно.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы настраиваем процесс сушки с использованием инфракрасного излучения коротких и средних длин волн в кварцевых лампах. Цель – быстрое и контролируемое нагревание без повреждения фоторезиста. Погрешность температуры составляет ±0,1°C по всей поверхности пластины, а ее однородность сохраняется на высоком уровне, что предотвращает изменение критических размеров пластины. Система работает без образования частиц; она может использоваться в чистых комнатах класса 1–100. Стабильность работы сохраняется более 5 000 часов при падении параметров менее чем на 5%, что позволяет эффективно использовать ее круглосуточно.
Почему она подходит для использования на производстве
После очистки пластина должна быть готова к дальнейшей обработке без какого-либо остатка влаги и новых загрязнений. Наши лампы быстро удаляют влагу, сохраняя при этом целостность фоторезиста. Это позволяет сократить время обработки, снизить расход энергии на одну партию продукции и уменьшить количество замен ламп. Таким образом, термальные параметры сохраняются под контролем, что снижает вероятность возникновения дефектов, связанных с сушкой.
Практические детали
Для эксплуатации этих ламп необходимы соответствующие крепления и чистое питание. Убедитесь, что напряжение и тип разъемов соответствуют требованиям вашего оборудования. Необходимо некоторое время на разогрев лампы, чтобы спектр и температура стали стабильными. Необходимо заранее спланировать монтаж лампы так, чтобы она правильно располагалась относительно пути движения пластины. Также необходимо своевременно удалять осадки с окон лампы во время технического обслуживания.