На лінії упаковки навіть незначна зміна температури при нагріванні на рівні 0,3°C може зруйнувати всі результати роботи – з’являються „мертві“ пікселі, проблеми зі з’єднанням елементів чипа, що призводить до втрати якості продукції. Усе це відбувається саме там, де цього зовсім не хочеться бачити – у корзині з продукцією, яку потрібно переробити. Необхідно, щоб тепло потрапляло саме туди, куди потрібно, у кожному циклі.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили цю лампу на основі світління в інфрачервоній області спектру з максимальною однорідністю теплового поля. Теплове поле по всій поверхні чипа має правильну форму без „гарячих точок“ чи „холодних країв“.
Повторюваність процесу забезпечується за рахунок контрольного механізму. Значення параметрів залишаються стабільними протягом усього часу роботи, а система підтримує однаковий рівень тепла в кожному циклі. Це забезпечує стабільну обробку фотополімеру – без перегріву чи недостатнього нагріву, що може призвести до проблем з формуванням структури чипа.
Чому це ефективно в цьому процесі
Упаковка чипів типу Mini LED вимагає точного контролю температури – у умовах чистої обстановки класу 1–100. Ця лампа не створює жодних частинок під час роботи, тож не виникає проблем з контамінацією чипа чи пошкодженням упаковки. Вона також залишається стабільною протягом 24/7, забезпечуючи стабільну продуктивність під час процесу літографії та упаковки. Використання енергії також залишається в заданих межах. Результатом є кращий контроль критичних розмірів, менше необхідності в переробці продукції та можливість планування часу виконання завдань.
Ось практичні деталі
Світління в інфрачервоній області є швидким та точним, але воно чутливе до відмінностей емісії на різних поверхнях та до геометрії розташування елементів. необхідно правильно планувати розташування лампи та параметри її роботи, щоб вони відповідали розташуванню чипів. Також потрібно переконатися, що спосіб кріплення та теплоізоляція відповідають характеристикам обладнання. Після правильної налаштування процес стає значно більш повторюваним.