Trong quy trình sản xuất, việc sấy khô hóa chất感光剂 không phải là công đoạn nhằm tạo ra sự thoải mái cho người vận hành; đó là một bước quan trọng mà chúng ta không thể bỏ qua. Sự chênh lệch nhiệt độ chỉ 0,5°C trong quá trình sấy cũng có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của các thông số kỹ thuật liên quan đến wafer, từ đó ảnh hưởng đến tỷ lệ sản phẩm tốt. Chúng tôi thiết kế các mô-đun sưởi bằng tia hồng ngoại để đảm bảo rằng nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ trong mỗi chu kỳ sấy.
Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại sóng ngắn, hoạt động thông qua một con đường quang học được làm từ chất liệu thạch anh. Kết quả là nhiệt lượng được truyền đi nhanh chóng, với mức độ trì trệ nhiệt tối thiểu. Trên toàn bộ diện tích wafer, độ đồng đều về nhiệt độ duy trì ở mức ±0,1°C, còn độ lặp lại giữa các lô sản xuất thì nằm trong khoảng ±0,5°C. Việc ổn định nhiệt độ diễn ra trong vài giây, vì vậy quy trình sản xuất vẫn có thể được lặp lại ngay cả khi dây chuyền đang hoạt động. Mô-đun này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100, và thiết kế của nó giúp giảm số lượng hạt bụi trong quá trình sấy.
Điều này rất quan trọng trong quy trình in ấn: bước sấy khô hóa chất感光剂 quyết định độ chính xác của hình dạng bề mặt wafer. Việc kiểm soát nhiệt độ ở mặt wafer giúp giảm độ nhạy của bề mặt wafer với ánh sáng phản chiếu, từ đó cải thiện độ đồng đều của các thông số kỹ thuật liên quan đến wafer. Nguyên tắc này cũng được áp dụng trong quy trình làm sạch và sấy khô wafer; việc kiểm soát nhiệt độ giúp giảm tác động của sức căng bề mặt, từ đó ngăn chặn hiện tượng biến dạng hình dạng của wafer. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì các bộ phát tia hồng ngoại chỉ làm nóng đối tượng cần được sấy, chứ không phải toàn bộ buồng sấy.
Độ tin cậy của hệ thống phụ thuộc vào thời gian hoạt động liên tục của nó. Hệ thống hoạt động 24/7 với các khoảng thời gian bảo trì được lên kế hoạch rõ ràng, tránh tình trạng dừng máy đột ngột.
Những điều cần lưu ý khi tích hợp hệ thống
Độ phát xạ của các lớp vật liệu khác nhau khác nhau, vì vậy việc kiểm soát nhiệt độ cần được điều chỉnh sao cho phù hợp với từng lớp vật liệu, chứ không chỉ dựa vào chính thiết bị sấy. Mô-đun này có kích thước nhỏ, nhưng vẫn cần tuân thủ các nguyên tắc về khoảng cách nhiệt và bảo vệ nhiệt – nếu không, sẽ xảy ra hiện tượng gia nhiệt không mong muốn ở các thiết bị xung quanh.
Hãy lên kế hoạch thực hiện một vài lần vận hành thử để xác định các thông số kỹ thuật phù hợp. Một khi các thông số này đã được xác định, quy trình sản xuất sẽ trở nên ổn định, dễ dự đoán và ít gây tiếng ồn hơn.