Warum Goldbeschichtete Reflektoren tatsächlich wichtig sind
Bei der Verarbeitung von Wafern bedeutet Energieverschwendung einfach Geldverschwendung. In den meisten Anlagen gelangt zu viel Energie in das Gehäuse der Maschine – das ist schade. Deshalb verwenden wir bei unseren IR-Lampen goldbeschichtete Reflektoren. Anstatt dass die Wärme im Raum verloren geht, leitet die Goldschicht die Wärme direkt nach vorne – genau dorthin, wo sie hingehört: auf die Siliziumoberfläche.
Das Besondere am Gold
Man findet viele Aluminiumreflektoren. Die sind zwar in Ordnung, doch sie absorbieren einen erheblichen Teil der Infrarotenergie. Gold hingegen reflektiert näheres Infrarotlicht viel besser. Dadurch kommen mehr Photonen auf die Wafer-Oberfläche – das führt zu einem besseren Wärmeverteilungsmuster und dazu, dass die gewünschte Temperatur schneller erreicht wird. Zudem wird weniger Energie benötigt, um die Arbeit zu erledigen. Es ist einfach effizienter.
Umgang mit der Wärme
Wenn man eine hohe Leistung in eine kleine Lampe steckt, wird es sehr heiß. Für eine schnelle Aushärtung oder Trocknung ist eine solche Wärmedichte notwendig – doch das belastet die Geräte stark. Wir verwenden hochreinen Quarz für das Gehäuse, damit die Lampe nicht verbiegt oder zerbricht, wenn es heiß wird. Doch man muss die Lampe unbedingt kühl halten. Wenn das Gehäuse nicht dafür konstruiert ist, die Wärme vom Rücken der Lampe wegzuführen, gibt es Probleme. Dann kann es passieren, dass die Anschlüsse beschädigt werden oder die Goldbeschichtung zerstört wird.
Einbau und Betrieb der Lampen
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie einfach als Ersatz für bestehende Halbleiterlampen verwendet werden können. Sie passen problemlos in die vorhandenen Halbleiteranordnungen. Zudem haben wir die Geometrie der Reflektoren so angepasst, dass der Strahl enger wird – dadurch entstehen keine „kalten Stellen“ auf der Wafer-Oberfläche.
Hinweis: Halten Sie die Lampen sauber. Selbst eine dünne Schicht Staub oder chemischer Rückstände kann die Effizienz beeinträchtigen. Reinigen Sie die Lampen mit den richtigen Lösungsmitteln, um eine konstante Wärmeabgabe zu gewährleisten.
Falls Sie feststellen, dass das Gold abblättert oder die Farbe sich ändert, ist das ein Zeichen dafür, dass die Lampe nicht mehr funktioniert. Dann sollten Sie sie austauschen.