왜 금으로 코팅된 반사체가 중요한가?
웨이퍼 처리 과정에서 에너지를 낭비하는 것은 곧 돈을 낭비하는 것과 같습니다. 대부분의 장비들은 너무 많은 에너지가 기계 본체로 흘러 들어가는데, 이는 큰 낭비입니다. 그래서 우리는 IR 전구에 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 그렇게 하면 열이 헛되이 퍼지는 것을 막고, 열이 정확히 원하는 곳, 즉 실리콘 표면에 집중되도록 합니다.
금의 장점
시중에는 알루미늄으로 만들어진 반사체도 많이 있습니다. 그런 반사체들도 괜찮지만, 적지 않은 양의 적외선 에너지를 흡수합니다. 하지만 금은 다릅니다. 금은 근적외선을 훨씬 더 잘 반사합니다. 웨이퍼에 더 많은 광자가 닿으면 열 분포가 더 균일해지고, 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있습니다. 게다가, 작업을 완료하기 위해 필요한 전력도 훨씬 적습니다. 따라서 훨씬 더 효율적입니다.
열 관리
고출력의 전력을 작은 전구에 공급하면 상황이 매우 심각해집니다. 빠른 경화나 건조를 위해서는 그런 열 밀도가 필요하지만, 이는 장비에 큰 부담을 줍니다. 그래서 우리는 고순도 석영을 사용하여 전구가 뜨거워질 때 움푹 들어가거나 부서지는 것을 방지합니다. 하지만 중요한 점은, 전구를 항상 차갑게 유지해야 한다는 것입니다. 만약 전구의 뒷부분에서 열을 제거할 수 있는 구조가 아니라면, 문제가 생길 수 있습니다. 결국 연결부가 손상되거나 금 코팅이 망가질 수 있습니다.
설치 및 유지보수
우리는 이 전구들을 간편하게 교체할 수 있도록 만들었습니다. 기존의 반도체 배열에 아무런 문제 없이 바로 설치할 수 있습니다. 또한 반사체의 형태를 조정하여 빛의 범위를 좁혀주어, 웨이퍼 위에 생기는 ‘차가운 부분’을 없앱니다. 한 가지 주의할 점은, 전구를 항상 깨끗하게 유지해야 한다는 것입니다. 아주 얇은 먼지나 화학 잔여물만으로도 효율성이 떨어질 수 있습니다. 적절한 용매를 사용하여 전구를 닦아주면 열이 일정하게 유지됩니다. 만약 금 코팅이 벗겨지거나 색깔이 변한다면, 그건 전구가 더 이상 사용할 수 없다는 신호입니다. 그럴 경우 전구를 교체해야 합니다.