Trong quy trình sản xuất, chỉ cần có một vết nước nhỏ trên bề mặt wafer sau khi được làm sạch thôi cũng đủ để làm hỏng wafer đó. Bước sấy khô sau khi làm sạch không phải là bước tạm dừng; đó là một yêu cầu kỹ thuật cần được tuân thủ nghiêm ngặt. Chúng tôi thiết kế các thiết bị sấy khô sao cho có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác ngay sau khi wafer được làm sạch, tức là ở giai đoạn quan trọng nhất của quy trình.
Những yếu tố kỹ thuật quan trọng Chúng tôi điều chỉnh chế độ sấy bằng ánh sáng hồng ngoại sóng ngắn và sóng trung bình từ các bóng đèn thạch anh. Mục tiêu là đạt được việc gia nhiệt nhanh chóng mà vẫn giữ nguyên trạng thái của lớp phim quang học. Độ chính xác về nhiệt độ vào khoảng ±0,1°C trên toàn bề mặt wafer, và độ đồng đều của nhiệt độ cũng được duy trì ở mức cao, giúp tránh sai lệch về kích thước của wafer. Hệ thống này hoạt động trong môi trường sạch, không tạo ra bụi bẩn nào, và có thể hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100. Độ ổn định của hệ thống có thể duy trì được hơn 5.000 giờ, với mức giảm nhiệt độ dưới 5%, vì vậy bạn có thể vận hành hệ thống 24/7 mà không lo về sai số.
Tại sao hệ thống này phù hợp với các nhà máy sản xuất thực tế? Sau khi được làm sạch, wafer cần được sấy khô hoàn toàn để tránh dư lượng nước và sự ô nhiễm. Các bóng đèn của chúng tôi giúp loại bỏ nước một cách nhanh chóng, đồng thời vẫn giữ nguyên trạng thái của lớp phim quang học. Nhờ đó, thời gian xử lý wafer được rút ngắn, chi phí năng lượng giảm, và số lần thay thế bóng đèn cũng ít đi. Nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ, giúp giảm thiểu các khuyết tật liên quan đến quá trình sấy khô.
Đây là những chi tiết thực tế cần lưu ý: Các bóng đèn này cần được lắp đặt trong các thiết bị phù hợp và sử dụng nguồn điện sạch. Hãy đảm bảo rằng điện áp và kết nối của bóng đèn phù hợp với thiết bị chính hoặc bộ phận phủ/phơi sấy. Cần có thời gian ấm lên nhất định để điều chỉnh phổ ánh sáng và nhiệt độ. Hãy lên kế hoạch tích hợp hệ thống từ sớm, sao cho bóng đèn được lắp đặt đúng vị trí so với wafer, đồng thời đảm bảo rằng khu vực xung quanh bóng đèn luôn sạch sẽ trong quá trình bảo trì.