自动晶圆干燥加热器

在晶圆制造车间，刚刚经过清洗漂洗的晶圆不需要华而不实——它需要稳定表现。水渍、加热不均和微观颗粒都会影响关键尺寸、破坏光刻胶附着力，并导致返工。自动化晶圆烘干加热器消除了这些变数，使烘干成为一个可以稳定依赖的工艺步骤，批次间表现一致。 关键技术指标 我们以晶圆平面温度均匀性±0.1°C为设计目标，...