晶圆固化灯用反光器

在光刻工艺中，如果在光阻烘烤过程中，晶圆表面的温度偏差达到0.5℃，那将会严重影响线宽控制的精度，进而降低产量。光固化灯中的反射器并非简单的硬件组件，它实际上决定了热场的分布，从而确保每次加工过程都能保持一致性。 我们为这种光固化灯设计了专用反射器，使其能够保持±0.1℃的温度均匀性，这样就能让软...