用于半导体加热器的热电偶

在红外半导体加热技术中，如何准确控制温度呢？如果我们真的希望减少半导体制造过程中的碳排放，那就必须放弃那些传统的电阻式加热器。因为它们的升温速度实在太慢了。因此，我们开始使用红外灯作为加热源，因为它们能够更快地达到目标温度，而且能耗也远远低于传统加热器。 不过，这里有个问题：如果不想烧毁晶圆的话，...