节能晶圆加热器

在半导体制造厂中减少碳排放：更高效的晶圆加热方式 如果真想实现半导体制造厂的碳中和目标，就必须停止将大量能源浪费在晶圆加热上。 大多数传统的电阻式加热器存在很大的能量损耗问题——它们会将热量散失到各个地方，导致整个腔室的温度上升，而实际上只需要让晶圆变热即可。这无疑是一种能源的浪费。 因此，我们采...