与真空环境兼容的红外加热器

为什么我们要在真空系统中从热空气加热器转向红外加热器？ 如果你从事半导体深度加工工作，那么你一定了解其中的挑战：需要快速升温。长期以来，我们一直依赖强制空气循环来加热，但这种方法存在一个明显的问题——在真空中是无法输送热空气的，因为根本没有空气可以流动。 因此，我们转而使用适合在真空环境中使用的红...