晶圆加热的安全距离

如何在加热晶圆的同时，保持100级洁净室的清洁状态 在100级洁净环境中工作时，你实际上是在与灰尘作斗争。哪怕有一小片灰尘进入，整个批次的产品都会被毁掉。 棘手的是：在加热晶圆时，危险不仅仅来自高温，还有光源本身。普通玻璃在受热时会破裂或释放出有害物质，这些物质会污染工作区域。因此，我们使用高纯度...