در کارخانههای تولید، حتی وجود یک نشانه آب پس از شستشو، میتواند باعث خراب شدن ویفر شود. مرحله خشککردن پس از شستشو، فرصتی برای استراحت نیست؛ بلکه یک فرآیند الزامی و ضروری است. ما لامپهای خشککن ویفر را طوری طراحی کردهایم که بتوانند دمای مورد نیاز را درست پس از شستشو فراهم کنند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از امواج مادون قرمز کوتاه و متوسط در لامپهای کوارتز برای تنظیم دما استفاده میکنیم. هدف، گرمایش سریع و کنترلشده است، بدون اینکه فوتورزیست مخدوش شود. تکرارپذیری دما در سراسر ویفر، حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین یکنواختی دما نیز در محدوده بسیار دقیقی باقی میماند تا ابعاد حیاتی ویفر تغییر نکند. این سیستم به گونهای طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود؛ همچنین میتواند در اتاقهای پاکیزه درجه ۱ تا ۱۰۰ کار کند. پایداری این سیستم بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت است و کاهش دما کمتر از ۵٪ خواهد بود؛ بنابراین میتوان آن را ۲۴/۷ به کار برد بدون اینکه مشکلی پیش بیاید.
چرا این سیستم در کارخانههای واقعی کاربرد دارد؟
پس از شستشو، ویفر باید بدون هیچ رطوبت باقیمانده و بدون هیچ آلودگی جدید، به مرحله خشککردن یا لیتوگرافی برسد. لامپهای ما، رطوبت موجود را به سرعت از بین میبرند، در حالی که فوتورزیست را دستنخورده نگه میدارند. این امر منجر به کاهش زمان پردازش میشود؛ همچنین مصرف انرژی کمتری صرف میشود و نیاز به تعویض لامپها نیز کمتر میشود. کنترل دما نیز به خوبی انجام میشود؛ بنابراین احتمال بروز نقصهای ناشی از خشککردن کاهش مییابد.
جزئیات عملی:
این لامپها نیاز به تجهیزات مناسب و برق پاکیزه دارند. حتماً اطمینان حاصل کنید که ولتاژ و اتصالات لامپها با سیستم مربوطه سازگار باشد. همچنین، نیاز به زمان کوتاهی برای گرم شدن لامپها وجود دارد تا طیف و دما به حالت استاندارد برسد. برای اینکه لامپها در مسیر صحیح قرار بگیرند، باید از همان ابتدا برنامهریزی کرد؛ همچنین، باید در زمان نگهداریهای پیشگیرانه، پنجره لامپ را از هرگونه ذره آلوده پاک نگه داشت.